




北京科儀真空技術(shù)有限公司是國(guó)內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。結(jié)束后,將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展
(1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。檢漏儀在使用過程中,往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的,掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的資料,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢,科儀竭誠(chéng)為您服務(wù)!
用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高;它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價(jià)格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng),亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會(huì)污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。這樣,它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標(biāo)找氦峰時(shí),不易受其他離子的干擾,因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求,易于加工。同時(shí),分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn),另一方面在油擴(kuò)散泵中,由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
科儀專業(yè)生產(chǎn)氦氣檢漏儀,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢,科儀竭誠(chéng)為您服務(wù)!
氦氣檢漏的主要技術(shù)性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動(dòng)系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺(tái)6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計(jì),一般為平開門式、滑臺(tái)合箱式;
4.上下料采用機(jī)械手或機(jī)器人,正常生產(chǎn)時(shí)設(shè)備無(wú)需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個(gè)電芯的檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)存儲(chǔ);
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動(dòng)判斷,并對(duì)應(yīng)放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級(jí)密碼,更改設(shè)備參數(shù);
10.人機(jī)交互界面,觸摸屏實(shí)時(shí)反映運(yùn)行狀態(tài)和測(cè)試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計(jì)功能
12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制作,確保運(yùn)行穩(wěn)定,性能可靠。
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